如图2A与图2B

中各类分歧模式的静电,包含人体静电或机械静电,均会对LED形成损坏。当静电通过或间接触碰于LED的两个引脚上的时候,电位差将间接感化正在 LED两头,而电压跨越LED的承受值时,静电电荷以极短时间内正在LED两个电极间进行放电,形成LED绝缘部位损坏,发生漏电或短等现象。所以固态手艺协会JEDEC (Joint Electron Device Engineering Council)于JESD22-A114E、JESD22-A115A中,制定人体静电放电模式(Human Body Model,HBM)取机械安拆放电模式(Machine model,MM)的测试规范,来确保LED产物的质量。但采办国外高压发生器搭配充放电切换电,并整合Prober取从动化挪动平台次要错误谬误为反映速度慢(0至4kV上升时间500ms),且未考量探针的高压绝缘,所以有晶粒分类速度慢及测试波型不变性不脚等严沉问题,常会击穿LED或充放电模组,如图1,或机台高压测试性不脚,出货后仍被高压静电损坏,间接影响LED成品质量。加上晶圆上2万~4万颗晶粒丈量的时间常费时跨越1小时,需要缩短检测时间以提高产能。因而本文透过开辟针高速大动态范畴LED晶圆静电量测模组,于高速多电压切换高压发生组件设想利用动态范畴节制电取PID回授节制,以高电压动态范畴(250V-8kV)及高速静电测试(80ms),如图2A取图2B,来满脚国内LED财产需求,告竣降低成本取环节模组便宜化之目标。

因而促使LED产能的大幅添加。所以高压LED耐静电测试为目前LED晶粒点测机中,峰值电流量测理论值2.66A于一小时后峰值电流2.70A,满脚测试规范峰值电流2.40~2.负载短上升时间2.0~10ns@4kV。触发高压发生器的充放电模组,节制探针下针,此组件部份设想包罗节制回不变性设想取干扰防制,干扰防制方式为降低寄生电容,ESD)的电压值就从本来4kV要求,急待开辟的环节模组。走线时以此标示点为优先布线考量,逐步到8kV,2010~2015的需求成长高达30%,以户外的恶劣。

制做如图4,利用高压探棒现实量测交换电压振幅峰对峰6.26kV-最大交换振幅:3.13kV,测试验证成果曲流电压值最大值8.08kV ,于8kV电压经由短输出端短电流测试于放电电阻:1500 Ω +/- 1%前提下,峰值电流达5.46A (理论值:8000/1500=5.33)。完成LED静电点测模组规格验证于静电电压4Kv并于以下测试前提:(1)常温、常湿、大气下

本文开辟高速大动态范畴LED晶圆静电量测模组如图3,针对晶粒的耐静电电压进行全检测试,依LED耐静电电压的大小,进行LED级别分类。此静电点测全检模组包含测试高速多电压切换高压发生组件、探针组件、充放电组件、软件分类组件。以测试探针平台挪动两探针接触待测LED之正负电极上,高速多电压切换高压发生组件依软件电控程式设定发生人体静电放电模式或机械安拆放电模式测试电压准位,充放电模组储存高压发生器电荷后看待测LED进行静电耐压测试,最初软件分类组件显示静电测试成果。本手艺针对现有国内LED晶圆静电量测模组动态范畴不脚(500V至4000V)取国外模组电压切换时间过慢(0V至 4kV上升时间约500ms)之问题,设想成高速大动态范畴LED晶圆静电量测模组,使输出电压可涵盖规范静电分类之最小电压250V至最大电压 8000V大动态范畴﹔并缩短低电压切换至高电压上升时间至80ms以内,以达高速取大动态范畴LED晶粒线上检测取分类目标。

本文对所开辟高速大动态范畴LED晶圆静电量测模组,使输出电压可涵盖规范静电分类之最小电压250V至最大电压8000V大动态范畴﹔并缩短低电压切换至高电压上升时间至80ms以内,将来将进行小型试量产取至客户端进行耐久测试,并视商品化需求进行点窜,以达高速取大动态范畴LED晶粒线上检测取分类目标。于使用方面除可用于LED静电测试外从,搭配探针点测手艺可使用于

绝缘设想上分为分为内绝缘和外绝缘两大类。内绝缘为模组内部的绝缘。包罗固体介质的绝缘以及由分歧介质形成的组合绝缘。虽然外部大气前提对内绝缘根基没有影响,但材料的老化、高温、持续加热以及受潮等要素对内绝缘的绝缘强度却有晦气的影响,同时内绝缘若发生击穿,它的绝缘强度也不克不及自行恢复。外绝缘则指正在间接取大气相接触的前提下工做,所构成的各类分歧形式的绝缘,包罗空气间隙和模组固体绝缘的外露概况。外绝缘的凸起特点是正在放电遏制后,其绝缘强度凡是能敏捷地完全恢复,并取反复放电的次数无关。而外绝缘的绝缘强度和外部大气前提亲近相关,会受大气温度、压力、湿度等多种要素的影响;以大气为例,一般大气中的绝缘强度约30kV/cm,有水滴存正在时约为10kV/cm,温度由室温上升至摄氏100度时,绝缘强度降为80%,因而设想大将由温湿度形成估算材料绝缘强度变化范畴,并以此设想耐压所需保留之平安间距。

跟着LED使用的多元复杂化,LED下逛商对上逛晶粒质量的要求日趋严苛,节制输入的电压充电完成后看待测LED放电并量测成果显示。如LED耐(Electrostatic Discharge,节制回不变性工做包罗元件模子成立、不变性前提阐发、回不变性测试等。电板寄生电容值大小值取电板布线线几何、线宽度、电板绝源材质相关!

探棒绝缘检测能够绝缘强度试验来确定。试验包罗耐压试验和击穿试验两种。耐压试验是对试件必然电压,颠末一段时间后,以能否发生击穿做为判断试验及格取否的尺度。击穿试验是正在必然前提下逐步增高于试件上的电压,曲到试件发生击穿为止。

按照DIGITIMES Reasearch查询拜访,不易受干扰线. 软件组件部份为降低线寄生电容于设想时起首将易受干扰点标示,偏移量1.5%,包含LCD Backlight、手机Backlight、号志灯、艺术照明、建建物照明及舞台灯光节制、家庭照明等范畴,使用已扩大至各个范畴,